Memahami bagaimana proses pelapisan vakum direalisasikan

Lapisan vakumadalah proses yang digunakan untuk memproduksi bahan film tipis berkualitas tinggi. Ini menghasilkan film tipis dengan bahan organik atau anorganik yang menguapkan secara termal atau sputtering ke permukaan substrat dalam kondisi vakum. Artikel ini akan memperkenalkan implementasi lapisan vakum secara rinci.

Proses pelapisan vakum mencakup langkah -langkah berikut:

1. Pilih substrat dan materi yang tepat

Memilih substrat dan materi yang tepat adalah langkah pertama dalam lapisan vakum. Substrat dapat berupa kaca, plastik, logam atau bahan nano lainnya. Bahan dapat bersifat organik atau anorganik, seperti logam, semikonduktor, oksida atau nitrida.

2. Muat sistem pelapisan vakum

Langkah kedua adalah memuat substrat dan bahan ke dalam sistem pelapisan vakum. Sistem pelapisan vakum mencakup ruang vakum, evaporator logam, sputter dan sistem kontrol. Ruang vakum adalah ruang tertutup yang digunakan untuk mempertahankan lingkungan vakum, evaporator logam dan sputters adalah perangkat yang digunakan untuk menguapkan atau mengacaukan bahan ke substrat, dan sistem kontrol digunakan untuk memantau dan menyesuaikan lingkungan vakum dan penguapan material atau kecepatan sputtering.

3. Vakum

Setelah memuat bahan dan substrat, ruang vakum harus dievakuasi. Penghisihan adalah langkah yang sangat penting, karena mempertahankan tekanan rendah dan lingkungan kemurnian yang tinggi dapat menjamin kualitas membran. Lingkungan vakum biasanya di bawah 10^-6 mbar untuk mengecualikan molekul gas dan polutan lainnya.

4. Penguapan atau Sputtering Material

Ketika lingkungan vakum mencapai tekanan yang diinginkan, bahan dapat diuapkan atau tergagap ke substrat. Ada dua metode penguapan material: penguapan termal dan penguapan sinar elektron. Sputtering juga memiliki dua metode: sputtering magnetron dan sputtering busur. Metode apa pun yang digunakan, penguapan material atau laju sputtering dan ketebalan film perlu dikontrol.

5. Buat film multilayer

Setelah membran lapisan tunggal telah dibuat, beberapa lapisan dapat ditumpuk bersama untuk membentuk komposit. Bahan dan proses pengendapan yang berbeda dapat digunakan, seperti deposisi bergantian, co-deposisi bahan multi-senjata, dan deposisi yang dikategorikan.

6. Kualitas membran uji

Langkah terakhir adalah menguji kualitas membran. Tes dapat mencakup ketebalan, sifat fisik, sifat optik dan sifat listrik, antara lain. Tentukan apakah bahan membran memenuhi persyaratan sesuai dengan hasil tes.

Singkatnya, teknologi pelapisan vakum adalah metode untuk mencapai film tipis berkualitas tinggi. Perlu memilih substrat dan material yang sesuai, memuat sistem pelapisan vakum, mengosongkan, menguap material atau sputter, membuat film multi-layer dan menguji kualitas film. Teknologi pelapisan vakum telah banyak digunakan dalam bidang elektronik, optik, medis dan energi.