Teknologi pelapisan mesin pelapis vakum optik

Mesin pelapis vakum optik banyak digunakan di industri, seperti kamera ponsel, kasing ponsel, layar ponsel, filter warna, lensa kacamata, dll. Standar presisi sangat tinggi, dan berbagai pelapis dapat dilapisi, seperti AR film anti-refleksi, seni dekoratif Film plastik, film keramik motor, film reflektif yang ditingkatkan, film konduktif ITO, dan film anti-fouling memiliki persentase penjualan yang tinggi di pasar.

Teknologi pemrosesan apa yang digunakan mesin pelapis vakum optik untuk melapisi begitu banyak lapisan?

Ketika mesin pelapis vakum optik menguap dan terakumulasi, bahan baku sumber dalam sistem vakum dipanaskan atau berkas ion elektron negatif menguap. Uap diduga berada di permukaan optik. Selama periode penguapan, sesuai dengan manipulasi pemanasan yang tepat, tekanan kerja pompa vakum, dan posisi dan rotasi substrat yang tepat, lapisan optik seragam dengan ketebalan khusus dapat diproduksi. Penguapan memiliki karakteristik yang relatif lembut, yang akan membuat lapisan semakin longgar atau keropos. Lapisan longgar semacam ini memiliki kemampuan untuk menyerap air, yang mengubah indeks bias film yang wajar, yang akan menghasilkan karakteristik yang berkurang. Pelapisan yang mudah menguap dapat ditingkatkan dengan teknologi deposisi yang dibantu berkas elektron, di mana berkas elektron diarahkan pada permukaan wafer. Ini meningkatkan adsorpsi lapisan permukaan optik relatif dari bahan sumber, menghasilkan sejumlah besar tegangan internal, yang meningkatkan kepadatan dan daya tahan lapisan yang lebih tinggi.

Medan elektrostatik berenergi tinggi dapat mempercepat berkas elektron dalam elektron beam magnetron sputtering (IBS) dari optical vacuum coater. Kecepatan sesaat ini menginduksi energi mekanik yang signifikan dalam ion positif. Setelah bertabrakan dengan bahan sumber, berkas elektron "magnetron sputters" molekul bahan target. Magnetron sputtered target ion positif (molekul diubah menjadi ion positif oleh zona hidrolisis) juga memiliki energi mekanik, menghasilkan film yang rapat ketika bersentuhan dengan permukaan optik. IBS adalah teknik yang tepat dan dapat diulang.

Optical vacuum coater Plasma magnetron sputtering adalah istilah umum untuk serangkaian teknologi seperti high-end plasma magnetron sputtering dan magnetron sputtering. Tidak peduli apa jenis teknologinya, itu termasuk pembuatan plasma. Ion positif dalam plasma dipercepat ke dalam bahan sumber, bertabrakan dengan ion positif energik yang longgar, dan kemudian magnetron sputter ke komponen optik target keseluruhan. Meskipun berbagai jenis sputtering magnetron plasma memiliki karakteristik, kelebihan dan kekurangannya yang unik, kita dapat menggabungkan teknologi ini bersama-sama, karena mereka memiliki prinsip yang sama, perbedaan di antara mereka, bandingkan jenis teknologi pelapisan ini dan kertas. Teknik pelapisan lain yang tercakup dalam jauh lebih sedikit berbeda satu sama lain.

Tidak seperti deposisi volatilisasi, bahan sumber yang digunakan untuk deposisi lapisan molekul (ALD) tidak menguap dari cairan, tetapi segera ada dalam bentuk uap. Meskipun prosesnya menggunakan uap, suhu lingkungan yang tinggi masih diperlukan dalam sistem vakum. Dalam seluruh proses ALD, prekursor kromatografi gas dikirim sesuai dengan pulsa tunggal yang tidak disisipkan, dan pulsa tunggal dibatasi sendiri. Jenis pemrosesan ini memiliki skema desain kimia yang unik, setiap pulsa tunggal hanya melekat pada satu lapisan, dan tidak ada persyaratan khusus untuk geometri lapisan permukaan optik. Oleh karena itu, jenis pemrosesan ini memungkinkan kami untuk mengontrol ketebalan dan desain lapisan ke tingkat yang relatif tinggi, tetapi akan mengurangi kecepatan akumulasi.